株式会社アイシーテクノ
YS6800i

チップトレイからMEMSセンサーを取出し、各温度に設定されたチャンバー内にて各圧力によるテストを行い、パラメータ書込み後にNGを排出しながらチップトレイに自動で移載させる装置です。
MEMSセンサーを8個同時に移載し、384デバイスを一括検査する事によりUPH6800を達成しております。